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红外辐射显微成像系统（微观温度分布成像）
IRLabs的IREM-IV红外显微镜系统使您能够更快、更准确、更可靠地进行半导体故障分析和调试。
IREM-IV相机提供超低噪声扩展波长PEM成像，在工作电压为400 mV的10 nm设备上具有经验证的发射成像灵敏度。自行设计和制造的相机，用于低维护操作，，包括6位透镜转盘和超过20小时的LN2持续制冷时间。光学扩展端口为外部激光扫描OBIRCH、LADA、TIVA和其他成像模式提供了升级路径。
3.3NA SIL物镜是定制设计的透镜家族中的新产品，经过优化，可在整个视场上提供衍射限制成像。自对准SIL可自动调平，以符合被测设备的局部轮廓。弯曲设计提供了低的接触力，因此适用于成像安装器件或裸晶圆。
集成轮廓传感器，测量器件表面轮廓，高度分辨率优于10 um。使用与精密x-y-z平台集成的倾斜台，可以直接测量和补偿从翻转边缘或器件弯曲产生的局部表面倾斜。跟自对准SIL相结合，以实现安全可靠的SIL成像。
扩展波长PEM成像通常是热背景噪声受限的。IREM-IV提供两个内部冷却的滤光轮，因此光谱滤光器或背景限制孔径适用于任何测量场景。
红外辐射显微成像系统（微观温度分布成像）指标参数：
相机 运动系统
● 1016×1016 液氮制冷MCT阵列 ● 25nm分辨率
● 像元尺寸 18um ● 100mm运动范围 （X-Y-Z）
● 400-2500nm 光谱响应范围 ● 阻尼振动隔离
● 6个位置自动物镜转盘 ● 电动样品倾斜选项
● 6个位置制冷滤光片/孔径转轮
● 大于20小时液氮维持时间
系统尺寸
● 显微镜 810mm x 876mm x 813mm， 160kg
● 控制系统 610mm x 1283mm x 762mm，90kg
物镜选项：
参考图例
**详细技术参数可参考Datasheet或咨询上海昊量光电设备有限公司。
更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电
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