| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 电子 |
皮米精度位移激光干涉仪
昊量光电推出的皮米精度位移干涉测量仪quDIS是对纳米级别的位移波动进行量测的理想仪器，基于其*的测量原理，相对距离的重复精度达到了50皮米。quDIS可同时支持三个测量通道，使其可以适用于任意的多轴测量中。quDIS在原理上同样采用激光干涉法，不过与传统激光干涉仪相比，其集成了法珀腔（Reference cavity）及饱和吸收气室（GC）作为频率校准参考，通过激光波长调谐扫描，比较两种不同的干涉图样，可以实现其它设备所不具有的绝对距离测量，基于这种测量方式，使得quDIS相对其他产品测量距离可以达到20M的同时保持高精度，且与信号对比度和强度无关，由于使用整个干涉模式来提取位移信息，因此不存在非线性误差。此外，quDIS不仅可以获得位置、速度和加速度等信息，折射率、反射率或表面倾斜度等信息也可以从实时信号中提取得到。
皮米精度位移激光干涉仪产品特点：
多维度多通道位移干涉器，操作简单，即插即用
相对距离和绝对距离测量
完善的全套系统配置
实时输出数字化图像
针对不同应用提供各种传感接头及反射模块组合解决方案
长期使用保证稳定性
兼容真空与各种恶劣环境
皮米精度位移激光干涉仪*优势：
绝对距离高精度测量！
不存在非线性及周期性误差！
相对距离信号稳定性<0.05nm！
工作距离最大20m（与传感头相关）
目标最大速度1m/s
三个传感接口，可实现多设备同步
探测器分辨率达到1pm
皮米精度位移激光干涉仪应用领域：
极限环境下振动分析
缓慢漂移及热膨胀检测
精密设备位置控制
纳米级位移测量
层状结构中间隙和边缘的测量
位移和振动精度评估
皮米精度位置测量仪参数列表：
| 干涉仪 | 传感头 | ||
| 光源 | DFB激光器 | 分辨率 | 1pm |
| 功率 | <400uW | 相对距离稳定性 | < 0.05nm |
| 波长 | 1535nm | 绝对距离精度 | <0.2nm/mm |
| 线宽 | <5MHz | 带宽 | 25kHz |
| 传感器通道 | 3 | 工作距离 | 0.1—20m |
| 光纤输入端口 | FC Narrow-Key-Slot | 目标速度 | <1m/s |
| Mating Sleeves | 传感头 | 真空 | |
| 同步 | 多台设备同步 | 低温 | |
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