| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 电子 | 纳米模式下的Z轴分辨率 | 30pm微起伏模式(使用原子级光滑镜) |
纳米表面轮廓仪
IMOS纳米表面轮廓仪实现了精确、定量、iso兼容、非接触式表面测量和表征微和纳米尺度的表面特征，在短短几秒钟内可捕获多达200万个数据点。选择正确的光学轮廓仪系统取决于您的应用程序的要求，包括速度、精度、垂直范围、自动化和灵活性。
IMOS光学表面轮廓仪在非接触式光学表面轮廓方面提供了强大的通用性。有了该系统，它可以方便快捷地测量各种表面类型，包括光滑、粗糙、平坦、倾斜和阶梯。所有的测量都是无损的，快速的，不需要特殊的样品准备。纳米表面轮廓仪系统的核心是部分相干光干涉技术，它提供亚纳米精度测量更广泛的表面比其他商业可用技术。
IMOS 纳米表面轮廓仪提供了不同的应用程序的特殊价值，如平直，粗糙度，波浪形，台阶高度等等。
IMOS 纳米表面轮廓仪配备了一个变焦头，可以填充离散变焦光学定制的系统。样本分段配置范围从*自动化到*自动化的编码行程。
IMOS 纳米表面轮廓仪提供高精度测量，易于使用，快速测量，有吸引力的价格，使其成为多功能3D光学轮廓仪的理想选择。
纳米表面轮廓仪主要优点:
- 纳米模式下的Z轴分辨率:
~ 30pm微起伏模式(使用原子级光滑镜)
~ 0.3um微地貌模式下
- 外形紧凑;
- 快速响应;
- 抗外部振动;
- 测量过程自动化程度高;
- 特殊的用户友好的界面;
- 高质量的图形界面，以工作与多计划三维表示的测量结果;
- 广泛的可能性配置的显微镜，以各种形态-逻辑的测量表面;
- 能够工作在两种模式:微浮雕和纳米浮雕;
- *的存储系统和测量结果的系统化。
在硅基板上的Pd薄膜，高度100nm硅晶体表面的阶地，高度为0.314nm在硅基板上的Pd薄膜，高度100nm
微起伏模式下的测量结果
硅晶体表面的阶地，高度为0.314nm
认证口径，标称高度值为101nm±3%
IMOS纳米表面轮廓仪组成
光电探测器*
矩形ccd-1392*1040 px
光源 *
LED (λeff = 630 nm)
显微物镜*
20x (or 10x, 5x) 2 items
放大率不变
压电扫描振镜
位移台
1d (Z) range 50 mm
2d (XY) range 75x50 mm
控制器
CCD-相机抓帧器
位移台控制器
设备控制器
计算机
软件
Software for working with IMOS
System / MS Windows
* – 按客户需求
衍射元件, 厚 3,7 μm
上海市徐汇区虹梅路2007号6号楼3楼
info@auniontech.com
