是70年代以来新崛起的一种高能脉冲器件，脉冲宽为微微秒（10-12）秒级，脉冲峰值功率超过千兆（109）瓦，脉冲能量大于100焦耳，脉冲重复频率每秒几百次，效率超过10％。虽然脉冲峰值功率比起化学脉冲激光器的1012瓦尚差三个数量级，但从发展来看前途很大。尤其是件的波长大多分布在紫外区，波长又可调，可望在受控核聚变、同位素分离、等离子体诊断、有机物的冷光滑机械加工、星际通信、光武器等方面一展身手。
“准分子”不同于一般的稳定分子，它并不是真正的分子，在自然界的正常状态中也不存在。准分子是人工制造的一bai种仅能在激发态以分子形式存在（激发态寿命10-8秒），而在基态（基态寿命10－3秒）则离解成原子的不稳定复合物，也就是说，它在激发态复合成分子，在基态又离解为原子。如惰性气体原子，外层轨道（壳层）被电子填满，因此它的原子价为零，一般不与任何原子结合成分子。但当它们一旦受到某种外界激励处于激发态时，就可以与其他原子结合成一个不稳定分子，习惯上称作“受激准分子”。当受激准分子从激发态受激跃迁回基态时（准分子离解为原来的原子状态），通过受激辐射和谐振放大作用就会有激光输出。这种激光器就叫做“”。
的特点：
1、准分子以激发态形式存在，寿命很短，仅有10^(-8)S量级，基态为10^(-13)S量级，跃迁发生在低激发态和排斥的基态（或弱束缚）之间，其荧光谱为一连续带。
2、由于其荧光谱为一连续带，故可以实现波长可调谐运转。
3、由于激光跃迁的下能级（基态）的离子迅速离解，激光下能级基本为空的，极易实现粒子数反转，因此量子效率很高，接近100%，且可以高重复频率运转。
4、输出激光波长主要在紫外线到可见光段，波长短、频率高、能量大、焦斑小、加工分辨率高，更适合用于高质量的激光加工。
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